
Спецификация:
| Материал | Кристаллический кварц |
| Допуск на диаметр | +0,0,-0,2 мм |
| Допуск по толщине | +/-0,2 мм |
| Качество поверхности | 20-10 царапать и копать |
| Очистить диафрагму | >90% |
| Параллелизм | <5 угловых секунд |
| Искажение волнового фронта | <λ/8@632.8nm |
| Толщина | Т=0,5 мм, 1 мм, 1,5 мм, 2,0 мм |
| Покрытие | без покрытия |